电子特种气体广泛应用于集成电路、
、显示面板等行业中光刻、、、刻蚀、、成膜、
、、、清洗
、、、掺杂
、、、、沉积等工艺环节，，
，
，对于纯度
、
、、稳定性、
、、包装容器等具有较高的要求。。电子特种气体生产涉及合成、
、纯化、、、、分析检测、、、
、充装等多项工艺技术，，，，具有较高技术壁垒。。。

电子特种气体是集成电路、、、显示面板、、、半导体照明、、、、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，
，，是集成电路制造的第二大制造材料，，，，仅次于硅片
，，，占晶圆制造成本的 13%。
。。。电子特种气体广泛应用于光刻、、、刻蚀、
、成膜、、清洗、、、掺杂、、、、沉积等工艺环节，
，，，对于纯度、、、稳定性
、、、包装容器等具有较高的要求。。。
。电子特种气体生产涉及合成、、、
、纯化、、、
、分析检测、、充装等多项工艺技术
，，
，具有较高技术壁垒。。

集成电路、、、、显示面板、、光伏等行业所用电子特种气体数量超过100种，，，国内主要生产企业为中船特气、、华特气体、、、南大光电等。。。国内电子特种气体企业整体发展时间较短，，在产品种类
、、、工艺水平、、、综合服务能力等方面依然与林德、、
、液化空气
、、大阳日酸和空气化工等国际巨头有差距，，而且这种差距需要一定时间完成创新迭代。
。由于半导体产线上原材料纯度和杂质含量（ppm级甚至ppb级）细小的偏差可能造成整条产线的损失，，
，客户的试错成本很高，，加大了国内企业进入新产品、
、
、、新市场的难度
。。

电子特种气体作为关键性电子材料，，，近年来得到国家产业政策的大力支持。
。。。国家发改委、、、科技部、
、、、工信部
、、、、财政部、
、国家税务总局等部门相继出台一系列产业支持政策
，，，有力推动了电子特种气体产业的发展。
。国内气体企业纷纷加大研发投入
，，不断突破技术难关，，逐步实现电子特种气体产品的国产替代。。