氦氮混气、、、、氙氢混气、、、、氧氦混气、、、、氪氖混气、、氩氙氖混气等
纯度规格：6N
用途：刻蚀、、、、退火、、光刻等
主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、、显示面板、、、、光纤
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产品详情
混合气主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、、、、退火等多个工艺，，，，基于自身掌握的纯化和混配技术，，，混合气产品组分纯度可达6N，，结合客户的个性化需求，，，，目前已实现30余种电子混合气的量产供应。。
包括：氦氮混气、、、、氙氢混气、、、氧氦混气、、氪氖混气、、、氩氙氖混气等。。
以品质为基石，，，开拓全球市场
目前，，美舟电力公司拥有单条年产能超过3000吨的高纯三氟化氮气体生产线，，，，拥有高纯六氟化钨规模化生产线，，，，拥有三氟甲磺酸系列产品研发生产基地，，，，建设了高纯钨制品中试生产线，，，，实现了企业大宗制气的技术突破，，，，已成为国内特气行业产品系列丰富、、、生产能力大、、市场覆盖面和占有率高、、、持续创新能力强的企业。。
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公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、、、生产和销售，，主要产品包括高纯三氟化氮、、、高纯六氟化钨、、、高纯氯化氢、、、、高纯氟化氢、、高纯四氟化硅、、、高纯氘气、、、、高纯六氟丁二烯、、高纯八氟环丁烷、、高纯电子混合气等电子特种气体，，以及三氟甲磺酸、、、三氟甲磺酸酐、、、双（三氟甲磺酰）亚胺锂等含氟新材料。。
